エアオペレートタイプのレギュレータについて
こちらの会社では、マニュアルタイプ以外にもエアオペレートタイプのレギュレータも取り扱っています。
エアオペレートタイプは、主に三つあります。
GCR-25A-HP2型と呼ばれる製品は、ケミカルレギュレータ25Aサイズが大きな特徴です。
ウェハーの大口径化による大流量の制御に対応が可能で、高耐圧なので様々な仕様や用途にも対応できます。
また、GCRM-HP2型〈高圧仕様タイプ〉は、GCRM型標準に比べ、1次側の圧力範囲と2次側の圧力範囲を、高圧仕様へ対応させている定圧制御弁です。
もう一つの、GMCR-HP型〈高圧仕様タイプ〉は、純水、薬液用の小型減圧制御弁で、2次側圧力を高圧まで設定可能なエアオペレートタイプになっています。
